Central Chemical Supply System
반도체와 FPD Process에 사용되는 고순도의 산,알카리, 용제를 효율적이면서 안전하게 플랜트 내부로 중앙 공급하는 시스템
Automatic Clean Quick Coupler System
근본적으로 외부오염을 차단하며 자동적으로 고순도 케미칼을 공급 또는 배출하는 시스템
High Purity Chemical Dilution or Mixing System
고순도 산,알카리,용제 등을 FPD나 반도체 공정 장비로 공급하는 시스템
The Raw Chemical Purifier System such as Evaporator and Filtering
증류와 필터 공정을 통한 Raw Chemical 정제 시스템
Purification of Liquefied gas material with Vaporization & Filtering System
액화가스를 탱크에 저장한 후, 기화 장치와 여과 장치를 거친 후, 스파저(Sparger)와 열교환기를 통해 다시 액화 가스로 환원하여 고순도로 정제 처리하는 시스템
Multi -stage distilation Tower
다단증류 타워를 이용한 분별증류 방식으로 반도체 및 FPD Process에 사용되는 초순수 케미칼을 만드는 정제시스템
Total Operation Control System
센서를 통해 온도,압력,유량,무게 등의 Data를 수집하고 Valve를 제어하는 시스템.
주로 PLC또는 DCS System을 사용하여 자동으로 공정을 제어하고 관리함.